伺服減速機是伺服減速機齒輪傳動裝置重量，一般情況下機電齒輪重量與其材料和熱處理工藝有很大的關系。如在同樣的功率下，滲碳淬火齒輪重量將是調質齒輪重量的1/3左右。因此對于行星齒輪減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應當廣泛采用硬齒面齒輪。

獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。

結構比較緊湊，回程間隙小、精度較高，使用壽命很長，額定輸出扭矩可以做的很大。但價格略貴。

行星減速器一般用在有限的環境里需要較高的轉矩時，即小體積大轉矩，所以它的穩定性和壽命都比正齒輪減速器要好。正齒輪減速器則用于相對較低的電流消耗，低噪音和高效率低成本應用。行星減速機最大的特點就是體積小，輸出扭矩大，傳動效率高，只要是有這些要求的地方都可以使用。